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洁净室空气净化技术核心 空气过滤器分类详解

洁净室空气净化技术核心 空气过滤器分类详解

洁净室,作为现代精密制造、生物医药、集成电路等高科技产业不可或缺的基础设施,其核心功能在于提供一个受控的、超低微粒浓度的环境。实现这一目标的关键,在于高效、系统的空气净化技术,而空气过滤器正是这一技术体系中的核心单元。根据过滤效率、工作原理和结构形式,洁净室用空气过滤器主要分为以下几大类。

一、 按过滤效率与标准分类
这是最主流的分类方式,直接决定了过滤器的应用场景和净化等级。国际上普遍采用欧洲EN 1822标准、美国ASHRAE 52.2标准以及中国GB/T 14295和GB/T 13554标准。

  1. 初效过滤器:通常作为净化系统的第一道防线,主要用于过滤5微米以上的较大颗粒物,如灰尘、毛发、花粉等。其过滤材料多为金属网、无纺布或化纤材料,容尘量大,阻力小,主要作用是保护后端的中高效过滤器,延长其使用寿命。
  1. 中效过滤器:位于初效之后,高效之前,主要捕集1-5微米的颗粒物。过滤材料通常为玻璃纤维、复合无纺布等,对气流阻力适中。它能有效减轻高效过滤器的负荷,是保证末端高效过滤器性能和寿命的重要环节。
  1. 高效过滤器(HEPA):洁净室空气净化的核心设备,对0.3微米粒径的颗粒具有不低于99.97%的过滤效率(按H13等级计)。其滤料为超细玻璃纤维纸,通过拦截、惯性碰撞、扩散和静电效应等多种机制捕获亚微米级颗粒。HEPA过滤器是达到ISO Class 5(百级)及更高洁净度等级洁净室的必备末端送风装置。
  1. 超高效过滤器(ULPA):性能高于HEPA,对0.1-0.2微米粒径的颗粒过滤效率不低于99.999%(按U15等级计)。滤料结构更致密,主要用于对空气洁净度要求极高的场合,如ISO Class 3(1级)及以上的超洁净环境,常见于高端半导体制造、纳米技术等领域。

二、 按结构形式分类

  1. 板式过滤器:最常见的形式,滤料布置成平板状,结构简单,价格经济,多用作初效或中效过滤器。
  1. 折叠式/袋式过滤器:通过将滤料折叠或制成袋状,在有限的外框尺寸内极大地增加了过滤面积,从而降低气流阻力,提高容尘量。中效过滤器多采用此结构。
  1. 有隔板高效过滤器:在折叠的HEPA/ULPA滤纸之间插入波纹状的分隔板(如铝箔、纸),以保持气流通道,确保过滤面积。其结构坚固,效率稳定,但体积相对较大。
  1. 无隔板高效过滤器:采用热熔胶等技术替代传统分隔板来固定和分隔滤料褶层。具有体积小、重量轻、过滤面积利用率更高的优点,是目前主流的高效过滤器形式。

三、 其他特殊类型

  1. 化学过滤器:不仅过滤颗粒物,其滤料(如活性炭、高锰酸钾浸渍氧化铝等)还能通过化学吸附或反应去除空气中的气态分子污染物(AMC),如酸性气体、碱性气体、有机蒸汽等,在半导体和生命科学洁净室中至关重要。
  1. 耐高温/高湿度过滤器:采用特殊材质(如不锈钢外框、PTFE滤料等),可在高温、高湿或腐蚀性环境下长期稳定工作,满足特定工艺需求。

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洁净室的空气净化是一个系统工程,通常采用“初效→中效→高效”的三级或多级过滤组合。正确选择和组合不同类别、不同效率的空气过滤器,并配合合理的气流组织(如单向流),是构建经济、可靠、满足特定洁净度要求的洁净环境的基础。随着技术发展,过滤器正朝着低阻力、长寿命、智能化监测的方向不断演进,以支撑未来更为严苛的工业生产和科学研究需求。

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更新时间:2025-12-07 05:40:15

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